Technologies de base en lithographie Traité EGEM, série Electronique et micro-électronique
Langue : Français
Coordonnateur : LANDIS Stéfan
Toujours plus vite, plus petit et à moindre coût. Tels sont les maîtres
mots des technologies qui façonnent et façonneront le 'nano-monde'. La
lithographie est aujourd'hui un outil complexe au cœur d'un procédé
technologique de fabrication de micro et nano composants. Technologie
pluridisciplinaire par excellence, la lithographie repousse sans cesse les
limites de l'optique, de la chimie, de la mécanique, la micro et nano
fluidique.
Cet ouvrage traite des technologies et procédés incontournables et principalement utilisés dans la fabrication industrielle de microprocesseurs et autres composants électroniques. Destinés aux ingénieurs et chercheurs novices, cet ouvrage permettra aux lecteurs plus expérimentés de parfaire leurs connaissances sur des techniques en constante évolution.
Cet ouvrage traite des technologies et procédés incontournables et principalement utilisés dans la fabrication industrielle de microprocesseurs et autres composants électroniques. Destinés aux ingénieurs et chercheurs novices, cet ouvrage permettra aux lecteurs plus expérimentés de parfaire leurs connaissances sur des techniques en constante évolution.
Préface. Les imagiciens. L'alchimie de la représentation des origines à la nanosphère. Introduction. Enjeux de la lithographie. Chapitre 1. La photolithographie. Chapitre 2. Lithographie extrême ultraviolet. Chapitre 3. Lithographie électronique. Chapitre 4. L'écriture par faisceau d'ions focalisés. Chapitre 5. L'optique des particules chargées. Chapitre 6. Résines pour la lithographie. Conclusion. Bibliographie. Index.
Date de parution : 03-2010
Ouvrage de 412 p.
15.6x23.4 cm
Épuisé
Thèmes de Technologies de base en lithographie :
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